刀刃部分采用精密電鑄工藝制備而成,刀刃厚度范圍:10μm~100μm,微粉粒徑范圍:1500#~5000#。
擁有6檔磨粒集中度等級,適用晶圓種類范圍更廣;具有出色的通用性,能夠適應各種復雜場景的劃切需求,包括切割道內含有金屬、 Pl/PO等各類工況;在切割水含有CO2的環境中,表現出的耐腐蝕性能;在劃切超厚晶圓時(如晶圓級封裝芯片),槽型可穩定保持垂直狀態。
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劃片機一般提供兩種切割模式,單刀切割(Single Cut)和臺階式切割(Step Cut),實驗證明,劃片刀的設計不可能同時滿足正面崩角、分層及背面崩角的質量控制的要求。這個結論對于晶圓厚度大于7 mil的低k晶圓尤為適用。為了減小正面金屬層與ILD層的分層,薄劃片刀會被采用,若晶圓較厚,則需選取刀鋒較長的刀片。但須注意,具有較高刀鋒/刀寬比的劃片刀在切割時會產生擺動,反而會造成較大的正面分層及背面崩角。
顆粒越大,刀片壽命越長;顆粒越小,刀片壽命越短。 顆粒集中度的影響 顆粒集中度對劃片質量也非常關鍵。 關于相同的金剛石顆粒大小會消費出不同集中度的刀片,劃片效果也會有很大差別。 目前,劃片刀常見有5種規格,分別是:50、70、90、110、130。 依據實踐測試得出,高集中度的金剛石顆粒,劃片阻力小,劃片速度快,,還能夠延長劃片刀的壽命,減少晶圓正面崩缺
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